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  • 產(chǎn)品名稱 : 254 nm MaxLamp? 汞線濾光片
  • 產(chǎn)品型號(hào):

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

這些高性能汞線濾光片非常適合與用于光譜學(xué)、光學(xué)計(jì)量學(xué)和光刻掩模對(duì)準(zhǔn)器和步進(jìn)系統(tǒng)的高功率汞弧燈一起使用。通過仔細(xì)優(yōu)化過濾器設(shè)計(jì)以允許在各種不同的應(yīng)用中使用,可以獲得最大吞吐量。非吸收性阻擋確保有效消除所有其他汞線以及線內(nèi)強(qiáng)度。



產(chǎn)品應(yīng)用:



產(chǎn)品特性:



技術(shù)參數(shù):

光學(xué)規(guī)格價(jià)值
傳輸帶 1平均 > 65% 244 – 256 納米
阻塞帶 1ODavg > 6 200 – 236 納米
阻塞帶 2ODavg > 4 263 – 450 納米
阻塞帶 3ODavg > 2 450 – 600 納米
中心波長(zhǎng) 1250納米
保證最小帶寬 112納米
FWHM 帶寬 1(標(biāo)稱)15.2納米
一般過濾器規(guī)格價(jià)值
入射角0±7度
錐半角10度
光學(xué)損傷等級(jí)經(jīng)測(cè)試證明,當(dāng)暴露于 25 毫米直徑(相當(dāng)于 1.2 W/cm2)的未經(jīng)過濾的氙弧燈的至少 6.0 W 功率超過 500 小時(shí)時(shí),沒有任何退化跡象。
水銀線253.7 納米
物理過濾器規(guī)格   價(jià)值
橫向尺寸(直徑)25 毫米
橫向公差+ 0.0 / – 0.1 毫米
過濾器厚度(已安裝)3.5 毫米
過濾器厚度公差(已安裝)± 0.1 毫米
通光孔徑≥ 22 毫米
從頭開始80-50
過濾器厚度(未安裝)2.0 毫米
過濾器厚度公差(未安裝)± 0.1 毫米
方向環(huán)上的箭頭表示光傳播的首選方向

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